導電薄膜的荷電載流子在輸運過程中受到表面和界面的散射，當薄膜的厚度可與電子的自由程相比擬時，在表面和界面的影響將變得顯著，這個現象稱為薄膜的尺寸效應。它等效于載流子的自由程減小，因此與同樣材料的塊體相比，薄膜的電導率較小。由于制備技術欠完善，通常薄膜中的缺陷濃度比較高，主要缺陷為雜質、空位、填隙原子、位錯、晶界，以及表面和界面的吸附和偏析等。